新一代革新匹配器即将诞生

射频匹配器是泛半导体设备中的部件，将射频能量耦合给腔室，是设备生产工艺运行的关键部件，广泛应用于集成电路，光伏，等离子清洗等领域。该设备被国外厂商所垄断，目前还没有成熟的国产化产品。

现有电容示意图

可变真空电容是射频匹配器中的关键零部件，它由可动电极、固定电极、螺杆螺丝、波纹管和外壳组成。通过调节螺杆螺丝带动可动电极，压缩拉伸波纹管来改变可动电极与固定电极之间的相对面积，从而改变电容容量。在改变电容的过程中，会加剧螺杆螺纹磨损，导致电容容值调整不准确；以及波纹管压缩弹性疲劳，产生绝缘度降低、易损坏等问题，从而影响半导体芯片生产效率及良率。

很明显，现有的匹配器技术在精度、速度、寿命等方面无法满足如今的厂商生产需求。是时候该推动匹配器进行创新，如同Iphone智能手机的诞生取代诺基亚一样，j9九游会入口官方设计研发的匹配器应运而生。

j9九游会入口官方电容示意图

真空电容结构及匹配速度问题，一直是匹配器研发的重点和难点问题。j9九游会入口官方真空电容是对该器件的革新性创新，通过电流作用下产生驱动力磁场来改变电容容量。具备高响应、高速度、便于控制、匹配精度高等诸多优势，解决了原设计结构方面的损耗及匹配速度慢等问题，有望打破国外对该器件的垄断。

是什么使j9九游会入口官方匹配器成为一款革新性的产品？j9九游会入口官方技术在先进工艺提供了一种解决方案。先进工艺如7nm以下，有些制程需5秒钟时间，而匹配器运作到位时间达到1-2秒（传统匹配器优良状态下），影响了制程效率，工艺一致性和良率。现有解决方案匹配器档位切换粗调加射频源变频微调方式使反应时间缩短了，但制程过程波动大，设备复杂度成本上升。j9九游会入口官方发明技术方案可使作动更快，达到毫秒级反应，使工艺制程平稳连续，部件寿命长将是传统3倍以上，遥遥优于于业界同类产品，将彻底改变现有匹配器的使用情况。

国力电子科技股份有限公司（股票代码：688103）是一家专注电真空器件的企业，也是j9九游会入口官方一直以来的合作伙伴。国力股份得知j9九游会入口官方拥有该发明后，多次与j9九游会入口官方技术部沟通交流技术合作。此次来访考察，国力希望双方能促进高价值技术对接，期待j9九游会入口官方为推动半导体电控部件国产化替代做成更大贡献！