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主技术规格:
输入功率:0~5000W / 频率:13.56MHz / 输入接头:7/16 Type (f) / 匹配时间:<2S
应用领域:
广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域
主技术规格:
输入功率:0~5000W / 频率:13.56MHz / 输入接头:7/16 Type (f) / 匹配时间:<2S
应用领域:
广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域