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射频匹配器是泛半导体设备中重要的部件,将高频能量较大化地耦合给腔室为设备生产工艺运行的关键要素。
12寸半导体工艺( 7nm以下)工艺时间约5~7秒,射频匹配器每次匹配时间约1~2秒,导致芯片良率无法保证,现有设备厂商采用射频电源变频方式加上切换式固定射频匹配器来满足工艺需求,上海j9九游会入口官方半导体有自主发明可变真空电容技术,将原本匹配时间约1~2秒缩短至500毫秒内,即可完成匹配
产品详情

主技术规格:
输入功率:0~5000W / 频率:13.56MHz / 输入接头:7/16 Type (f) / 匹配时间:<2S


应用领域:
广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域


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