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温控循环泵(circulating pumps)是一种集成电路制造中用于制冷的系统。其主要用在ACT-8、MARK8、 MARK7、DNS和SMC等机台的制程中控制硅片托盘和反应腔的温度控制。
随着半导体制造工艺的不断提升,使得制程工程师对chiller的温控精度的要求越来越高。目前普遍的精度要求为+/- 0.1℃,其工作原理是用16位的A/D转换器来读写温度传感器。
一台温控循环泵主要包括压缩机,高压泵,散热装置和热交换器四大部件。
j9九游会入口官方凭借10余年的半导体零部件技术服务经验,开发出全新Circulation Pump,可替代SMC(INR-244-117 B)和(NIR-244-112B)。
已通过客户端长期验证,稳定可靠,现正式开始面向客户销售。
内部腐蚀生锈 线路腐蚀老化