自主研发·电控部件国产替代
RF Generator 射频电源系列产品
当空间有限但性能至关重要时,稳定可靠且结构紧凑的j9九游会入口官方RFG1250是您的最佳解决方案。
应用领域:
适用于泛半导体产业、光伏产业、LED产业、面板显示器产业、工业制造、医疗健康产业、科学实验等领域。
适用于PVD、CVD、PECVD、ALD、等离子体刻蚀、等离子体清洗等工艺。
产品特点:
> 全数字控制系统
> 高稳定度和精度输出功率
> 结构紧凑,集成度高,易替换其他机型
可替代产品:
> AE APEX 同级别产品
> AE CASER 同级别产品
> AE RFG 同级别产品
> MKS\ENI OEM同级别产品
> 市面上大部分13.56Hz 1KW射频电源
FAST MATCH 射频匹配器
j9九游会入口官方自动匹配器高速、高效、高稳定的匹配性能,适用于要求苛刻的高速匹配应用
Microwave Generator 微波发生器 & 磁控管
j9九游会入口官方微波电源是一款基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源。
应用领域:
主要用于半导体ALD镀膜、光刻胶去除、微波等离子体刻蚀、微波等离子体去胶、人工钻石等工艺。
产品特点:
> 全数字化模式,控制精确,稳定性好
> 稳定的灯丝控制,可延长磁控管寿命
> IGBT高频高频开关电源
可替代产品:
> ASTEX C13170 等同级别产品
> MKS F120160 等同级别产品
> MUEGGE 等同级别产品
Remote Plasma Source 远程等离子体源
独特腔体设计和超长使用寿命,是真空腔体清洁的理想之选
应用领域:
主要用于清洁CVD、PECVD和PEALD腔体及半导体厂芯片制造和液晶面板的生产制造
产品特点:
> 8 slm NF 流量,清洁时间更快
> 解离 >95%,清洁效果更高效
> 独特的发生腔体设计,寿命更长
> 体积小,集成度高,灵活配置
可替代产品:
> MKS Paragon AX7710 8L
> 其他 8L 同规格产品
Circulation Pump 温控循环泵
循环液的温度、流量和压力进行高精密控制,使涂胶显影机台散热、冷
应用领域:
温控循环泵是涂胶显影机台中TCU温度控制单元必不可少的部件之一。
产品特点:
> 变温速率更快
> 运行温控精度可达到±0.2℃
> 客制化定制、灵活配置
HV Plate 高压盘
将电流通过倍压整流,滤波将电压倍数提升后输出
应用领域:
高压电源核心组件,主要应用于离子注入、X射线发生器、束流焊、科研等领域
产品特点:
> 良好的耐击穿绝缘性能
> 大电流倍压耦合电容损耗低
> 专业真空脱泡技术
可替代产品:
>Hitck Power OL8000原厂已停产组件
Dummuy Load 假负载
应用领域:
常用于射频发生器的功率消散、校准、操作规程和日常检查
产品特点:
> 工作频带宽
> 驻波比系数低
> 抗脉冲
可替代产品:
> Bird Dummy Load
技术服务·电控及真空部件
实力品牌·4大优势
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实力强大
· 拥有多年丰富半导体经验
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