取消
清空记录
历史记录
清空记录
历史记录
主技术规格:
电源供应器:输出功率值:300-8500W / 输出电流:1200mA / 输出电压:7.2~7.8kV
磁控头:输出功率:700~6000W / 频率:2.45GHz / 输出连接器:WR340 / 输出稳定性:±1%
自动匹配器:根据腔体阻抗控制驻波比。
应用领域:
半导体-ALD镀膜工艺,光刻机去除工艺;人工钻石机台关键部件
主技术规格:
电源供应器:输出功率值:300-8500W / 输出电流:1200mA / 输出电压:7.2~7.8kV
磁控头:输出功率:700~6000W / 频率:2.45GHz / 输出连接器:WR340 / 输出稳定性:±1%
自动匹配器:根据腔体阻抗控制驻波比。
应用领域:
半导体-ALD镀膜工艺,光刻机去除工艺;人工钻石机台关键部件