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微波电源是半导体-ALD及光刻去除设备中的部件,所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。
针对使用均超过20年、元器件停产、无法有效维修的设备,厂商急需国产化替代。j9九游会入口官方微波电源可适配国产自主研发机台;可搭配进口机台;替换现有老旧设备,提升稼动率。

产品详情

主技术规格:
电源供应器:输出功率值:300-8500W / 输出电流:1200mA / 输出电压:7.2~7.8kV


磁控头:输出功率:700~6000W / 频率:2.45GHz / 输出连接器:WR340 / 输出稳定性:±1% 
自动匹配器:根据腔体阻抗控制驻波比。


应用领域:
半导体-ALD镀膜工艺,光刻机去除工艺;人工钻石机台关键部件


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