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射频电源是泛半导体设备中重要的部件,所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。
针对使用均超过20年、元器件停产、无法有效维修的设备,厂商急需国产化替代。j9九游会入口官方RFG1250可适配国产自主研发机台;可搭配进口机台;替换现有老旧设备,提升稼动率。
产品详情


主技术规格:

输出功率:0~1250W / 频率:13.56MHz / 整机效率:≥80% / 输出接头:N Type(f) /谐波:<-45dB / 杂散:<-50dB / 输出功率稳定度:±1% / 输出阻抗:50±2Ω


应用领域:

广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域


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